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3D-Oberflächenmessung in Hochgeschwindigkeit durch konfokale Rastermikroskopie

Ein neues Verfahren liefert bei Messungen mit der konfokalen Rastermikroskopie eine 3-dimensionales Bild. Dadurch können Messungen erheblich beschleunigt werden. Optische Oberflächenmessverfahren zur Charakterisierung von Mikro-...
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